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[单选题]PVD制程压力范围为( )。 (1 分)
A.0~1mTorr..
B.1~2mTorr..
C.2~20mTorr..
D.20mTorr~30mTorr
[单选题]以下哪个是CVD制程气体?( ) (1 分)
A.NF3
B.O2
C.N2
D.Ar
[单选题]以下哪个不是CVD制程气体?( ) (1 分)
A.SiH4
B.H2
C.N2
D.NF3
[单选题]下列几组气体中,不属于PECVD制程常用的气体是( )。 (1 分)
A.H20,He,O2
B.SiH4,NH3,N2O
C.H2,NF3
D.PN2,Ar
[单选题]PVD设备一般使用的电源是( )。 (1 分)
A.EB电源
B.DC电源
C.AC电源
D.RF电源
[单选题]以下不属于PVD工艺中使用的金属是( )。 (1 分)
A.Al
B.Ti
C.Cu
D.Mg
[单选题]下列真空泵哪一种不是PVD设备使用的( )。 (1 分)
A.油泵
B.分子泵
C.低温泵
D.干泵
[单选题]CVD制程影响质量的关键点包括( )。 (1 分)
A.反应混合物的供应
B.沉积温度
C.衬底材料
D.以上都是
[单选题]原子吸收分光光度计工作时须用多种气体，下列哪种气体不是AAS室使用的气体（）。
A.空气
B.乙炔气
C.氮气
D.氧气
[单选题]铝合金材料的焊接推荐使用气体保护焊，使用纯度较高的纯氩气体。焊接时气体流量为（ ）。
A.20-25L/min
B.20-30L/min
C.20-35L/min
D.20-45L/min
[单选题]SMD1800X生产时L室破真空所使用气体为( )。 (1 分)
A.氩气
B.大气
C.氮气
D.特殊气体
[单选题]使用Qulee检测腔体是否有漏使用的气体是?( ) (1 分)
A.Ar
B.N₂
C.He
D.H2
[单选题]全压( )各气体分压得和 (1 分)
A.大于
B.等于
C.小于
D.以上都对
[单选题]LeakCheck时使用的气体是( )。 (1 分)
A.CDA
B.Ar
C.He
D.N2
[单选题]Leaktest一般使用何种气体( ) (1 分)
A.H2
B.N2
C.He
D.Ar
[判断题] 气割时使用的气体和气焊时使用的气体是不同的。( )
A.正确
B.错误
[单选题]当工艺气体含有腐蚀性气体时TMP使用时的注意事项是( )。 (1 分)
A.需要打开加热器
B.需要降低旋转速度
C.需要导入吹扫气体
D.需要经常停止再生
[单选题]Qulee分压中哪种气体分压偏高说明真空腔体中有漏水( )。 (1 分)
A.H2O
B.N2
C.H2
D.O2
[单选题]我公司检漏使用的气体为( )。 (1 分)
A.氦气
B.氮气
C.氢气
D.氧气
