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[单选题]下列哪种工艺中不需使用到工艺气体( )。 (1 分)
A.溅射成膜
B.化学气相沉积
C.退火
D.蒸发成膜
[单选题]去气体冷却塔工艺气体温度显示仪表位号为TI-216/217其控制温度范围是( ）℃。
A.75-90
B.75-80
C.75-77
D.65-75
[单选题]生产庄周应急状态下有毒有害工艺气体应排放至( )。
A.火炬系统
B.现场排放
C.高空排放
[单选题]下列设备配备工艺气体管路最多的( )。 (1 分)
A.溅射成膜
B.蒸发成膜
C.退火
D.化学气相沉积
[单选题]某容器中的混合气体含有甲烷、乙烷。甲烷的爆炸下限为50%,上限为150%;乙烷的爆炸下限为29%,上限为130%。动火环境中可燃气体的浓度不得超过()
A.0.02
B.0.01
C.0.05
D.0.02
[单选题]单选题
生产装置应急状态下有毒有害工艺气体排放应排放至()。
A. 现场排放
B. 现场排放
C. 火炬系统
[单选题]某容器中的混合气体含有甲烷、乙烷。甲烷的爆炸下限为 5. 0%， 上限为 1 5.0%;乙烷的爆炸下限为 2. 9%, 上限为13.0%。 动火环境中可燃气体的浓度不得超过（)。
A.0.02
B.0.01
C.0.005
D.0.002
[单选题]SMD-2400金属机和IGZO机工艺气体HOOKUP区别( )。 (1 分)
A.N2
B.O2
C.Ar
D.H2O
[单选题]在初步设计中进入转化器第一层的工艺气体的二氧化硫含量是( )。
A.6.10%
B.7.10%
C.8.20%
D.8.69%
[单选题]在初步设计中进入转化器第一层的工艺气体的氧气含量是( )。
A.6.10%
B.7.10%
C.8.20%
D.8.69%
[单选题]某容器中的混合气体含有甲烷、乙烷。甲烷的爆炸下限为5.0%，上限为15.0%;乙烷的爆炸下限为2.9%,上限为13.0%。动火环境中可燃气体的浓度不得超过（)。
A.0.02
B.0.01
C.0.005
D.0.002
[单选题]关于CVD工艺常用气体特性,有毒气体为( )。 (1 分)
A.NH3
B.NF3
C.B2H6
D.以上全部
[单选题]二次侧工艺气体管路作业,下列说法正确的是( ). (1 分)
A.配管作业完成后,一定要通过保压测试,确认管道无漏
B.配管作业完成后,一定要进行12H以后的吹扫,确认管道内无灰尘颗粒残留
C.气管接头尽量少,减少成本与降低漏气风险
D.以上都正确
[单选题]关于工艺气体通气前置换,至少要对管路进行( )次置换 (1 分)
A.3
B.5
C.8
D.10
[单选题]488.在初步设计中进入转化器第一层的工艺气体的氧气含量是( )。
A.6.10%
B.7.10%
C.8.20%
D.8.69%
[单选题]487.在初步设计中进入转化器第一层的工艺气体的二氧化硫含量是( )。
A.6.10%
B.7.10%
C.8.20%
D.8.69%
