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发布时间:2024-08-05 21:18:02

[单选题]中国电子科技集团有限公司 2021 年 3 月 17 日对外公布,该集团旗下装 备子集团攻克系列“卡脖子”技术,已成功实现离子注入机全谱系产品国产 化,包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机, 工艺段覆盖至____nm,为我国芯片制造产业链补上重要一环,为全球芯片制 造企业提供离子注入机一站式解决方案。
A.5
B.7
C.28
D.90

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