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[单选题]关于ULVAC气体分析仪QULEE,下列说法正确的是.( ) (1 分)
A.一般在L腔T0腔和S腔都会安装
B.一般装在成膜腔,监测气体成分
C.一般装在搬送腔和成膜腔
D.一般装在LOAD腔和成膜腔
[单选题]下列哪一项是气体分析仪工业监视中需要分析的内容( ) (1 分)
A.内部漏的检查
B.不纯物的检查
C.放出气体
D.以上三项都是
[单选题]下列哪一项气体泄露，一般不会发生爆炸？（ ）
A. 煤气
B. 氯气
C.天然气 D .氨气
