[简答题]电子探针X射线显微分析仪有哪些工作模式，能谱仪的特点是什么？

参考答案: 工作模式：点线面三种。
能谱仪的特点：
1.所用的Si探测器尺寸小，可装在靠近样品的区域；
2.分析速度快，可在2-3分钟内完成元素定性全分析；
3.能谱仪不受聚焦圆的限制；
4.工作束流小，对样品污染小；
5.能进行低倍X射线扫描成像，得到大视域的元素分布图；
6.分辨本领比较低；
7.峰背比小；
8.Si探测器必须在液氮温度下使用，维护费用高。