[简答题]什么叫物理气相沉积，有何优缺点？

参考答案: 物理气相沉积是在高真空容器中，Ti受热蒸发，蒸发出来的原子与通入工作室中的气体相遇（按比例），并被离子激活，在工件负偏压吸引下，以较大能量射向工件表面，形成TiC或TiN沉积层，层厚一般为1～3mm，TiN的沉积层表面硬度为HV2400左右。它与化学气相沉积的不同点在于温度，化学气相沉积温度高，沉积结合力强，但基体硬度降低，而物理气相沉积的温度低，不影响基体硬度。刀具经“沉积”处理后寿命提高3～10倍，缺点是离子的绕射性差，工件各处沉积层不均匀，设备投资费用高，维修难，生产效率较低。