[简答题]请简述精馏塔区的工艺流程。

参考答案:来自冷氢化的粗三氯氢硅经氢化料提纯系统两级除轻和两级除重后，从T80304顶采出合格的三氯氢硅送往还原车间。氢化系统将排出的含轻重杂质浓度较高的氯硅烷送往高低沸回收系统进行回收，回收的三氯氢硅送往氢化系统继续提纯成高纯三氯氢硅，回收的二氯二氢硅送往氢化反歧化塔T80308与来自T80309的四氯化硅反应生成三氯氢硅，再送往氢化系统提纯。还原尾气中提取的混合氯硅烷送往还原系统，从9塔侧线采出的四氯化硅送往冷氢化及反歧化塔，从T80310侧线采出高纯三氯氢硅送往还原继续生产多晶硅，从T80310顶部采出的DCS送往T80311与来自9塔的四氯化硅反应生成三氯氢硅送往1或9、10塔提纯。