参考答案: 高能离子注入硅片后与靶原子发生一系列碰撞,可能使靶原子发生位移,被位移原子还可能把能量依次传给其它原子,结果产生一系列的空位-间隙原子对及其它类型晶格无序的分布。这种因为离子注入所引起的简单或复杂的缺陷统称为晶格损伤。
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