[简答题] 简述CDI系统各组成部分及各组成部分作用。

参考答案:CDI由冷却分离、压缩冷凝、吸收和解吸、活性炭吸附、制冷系统等五大部分组成。
冷却分离部分：通过冷凝器和分离器将尾气中的大部分SiHC.l3、SiC.l4、SiH2C.L2冷却、分离。经过这个步骤以后，尾气中的主要组分是HC.l和H2，另外还有很少量的SiHC.l3、SiH2C.L2和SiC.l4。
压缩冷凝部分： 经过冷却分离后的尾气进入压缩机加压，使尾气中的氯硅烷成分的浓度大幅度升高，然后用制冷剂(R23)将其冷凝，以达到完全将其分离和回收的目的。经过这个步骤以后，尾气中基本不含有SiHC.l3、SiH2C.L2和SiC.l4成分。
吸收和解吸部分：除去氯硅烷成分的尾气进入吸收塔，用冷的氯硅烷液体将尾气中的HC.l吸收，H2则因为不溶解于氯硅烷而继续留在尾气中。吸收了HC.l成分的氯硅烷液体被送到解吸塔进行蒸馏解吸，将溶解在氯硅烷液体中的HC.l蒸发成为气体，从而达到将HC.l分离和回收的目的。活性炭吸附部分：从吸收和解吸部分出来的尾气中绝大部分是H2。用活性炭吸附柱将H2中的杂质吸附、净化，即可得到纯度很高的H2气体，可以直接用于生产过程。制冷系统：在CDI尾气回收系统中，用R23作制冷剂为系统提供冷量，以将尾气中的低沸点组分冷凝回收。