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[单选题]PIG真空计是属于利用了( )的真空计 (1 分)
A.力学性能
B.气体动力学效应
C.带电粒子效应的真空计
D.以上都不是
[单选题]下列真空计中适合在Sputter放电中使用的真空计( )。 (1 分)
A.皮拉你真空计
B.电离真空计
C.薄膜真空计
D.复合型真空计
[单选题]电离真空计及皮拉尼真空计在安装时有哪些注意事项:( )。 (1 分)
A.安装在气流较小的地方
B.安装在振动较小的地方
C.使用放气量较小的O型密封圈
D.以上都是
[单选题]皮拉尼真空计是通过( )的变化来测量真空度。 (1 分)
A.电流.
B.静电容量.
C.电压.
D.电阻
[单选题]电离真空计除气时,真空度必须达到( )。 (1 分)
A.1xE-1Pa
B.1xE-2Pa
C.1xE-3Pa
D.1xE-4Pa
[单选题]什么是真空计( )。 (1 分)
A.计量气体的密度
B.计量气体的质量
C.计量气体的体积
D.以上都不是
[单选题]电离真空计AxTRAN不可以在什么真空环境下使用?( )。 (1 分)
A.低真空
B.中真空
C.高真空
D.超高真空
[单选题]如下真空计 可以测定2000Pa的真空度数值?( )。 (1 分)
A.CCMT-1000D
B.G1-D7
C.SC1
D.SH2
[单选题]真空计的种类?( )。 (1 分)
A.粘性真空计
B.薄膜真空计
C.电离真空计和热传导真空计
D.以上说法都是正确的
[单选题]电离真空计的种类( )。 (1 分)
A.热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、复合电离真空计
B.热阴极电离真空计、复合电离真空计
C.冷阴极电离真空计、复合电离真空计
D.热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计
[单选题]真空计的作用是( )。 (1 分)
A.压力测定
B.温度测定
C.质量测定
D.体积测定
[单选题]薄膜真空计的特点( )。 (1 分)
A.高精度:在原理上、可以作为基准计使用。对于指示值、±0.1~0.3%的测量误差精度、通用真空计有高测量能力
B.可以正确压力测量:对气体种类灵敏度无变化适合复杂的混合气体使用半导体工艺的压力控制
C.价格高
D.以上都正确
[单选题]皮拉尼真空计缺点( )。 (1 分)
A.价格昂贵
B.气体依存性大
C.大气下容易断线
D.应用范围广泛
[单选题]皮拉尼真空计特点( )。 (1 分)
A.根据气体种类变动:H2、HE等有在某压力范围里相差一个数量级
B.价格便宜:与薄膜真空计比较1/2~1/10的成本
C.操作容易:对于大气的测量不会断丝
D.以上都正确
[单选题]关于分压真空计的说法,下列说法正确的是( )。 (1 分)
A.腔体内物体放出气体的检测.
B.真空pump逆流产生气体的检测.
C.有无泄露的确认.
D.以上都是
[单选题]测量腔室真空度是100Pa时,能使用到的真空计有( )。 (1 分)
A.皮拉尼真空计
B.薄膜真空计
C.电离真空计
D.以上都有
[单选题]薄膜真空计测量范围:( )。 (1 分)
A.0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa
B.0.01Pa至1000Pa、0.1Pa至10000Pa
C.0.01Pa至1000Pa、0.1Pa至1000Pa
D.0.1Pa至1000Pa
[单选题]热电极电离真空计特点( )。 (1 分)
A.高精度
B.长寿命
C.无气体依存性
D.价格便宜
