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[单选题]哪种泵不适合用于溅射设备( )。 (1 分)
A.干泵
B.分子泵
C.低温泵
D.扩散泵
[单选题]关于leaktest开始前作业内容1,设备排气系统及chamber排气动作确认。2,向组立担当人员确认设备gas,真空系统是否组装完毕。3作业前meeting的实施。顺序正确的是( )。 (1 分)
A.1,2,3
B.1,3,2
C.3,2,1
D.2,1,3
[判断题]放空阀主要用于设备及系统的减压;放空阀应安装在设备及系统的最高处。倒淋阀用于设备及系统的最后倒空,蒸汽系统的倒淋阀还用于排除蒸汽凝液;倒淋阀应安装在设备及系统的最低处。( )
A.正确
B.错误
[单选题]我们将溅射设备称为( )。 (1 分)
A.蒸发台
B.Sputter
C.退火炉
D.烧结炉
[单选题]溅射设备包含了以下哪些构成( )。 (1 分)
A.腔体
B.阴极
C.搬送系统
D.以上均有
[单选题]溅射设备的阴极包含下列哪些构造( )。 (1 分)
A.溅射电源
B.冷却水In
C.冷却水Out
D.以上都有
[单选题]溅射设备中我们把靶材置于( )。 (1 分)
A.腔体下部
B.腔体顶部
C.阳极
D.阴极
[单选题]磁控溅射设备成膜时的放电方式是( )。 (1 分)
A.电弧放电
B.虹光放电
C.辉光放电
D.电火花放电
[单选题]溅射设备对应的是以下哪种气体分析仪( ) (1 分)
A.QuleeCGM
B.QuleeBGM
C.QuleeHGM
D.QuleeRGM
[单选题]CGM-051/052在溅射设备上的启动压力是( ) (1 分)
A.大气压
B.100Pa
C.40Pa
D.1Pa
[单选题]溅射设备在对基板成二氧化硅膜时使用的电源是( ) (1 分)
A.AC电源
B.DC电源
C.RF电源
D.EB电源
[单选题]磁控溅射设备放电时以下不是产生ARC放电的原因的是( ) (1 分)
A.F-MASK接地
B.靶材上有伤痕
C.XY轴摇动到靶材非工口区域
D.GS与靶材接触
[判断题]设备网管系统由通信设备生产厂家提供的，用于管理传输设备和网络的网管系统，一般限定只能管理同一设备厂家设备组成的网络，提供对所管理网络的网管功能和数据采集、上传功能，通常不具备跨系统、跨厂家的设备和网络管理能力。
A.正确
B.错误
[判断题]( )2.若车辆排气系统设计导致的车辆排气管长度小于测量深度时,应使用排气延长管进行测量。
A.正确
B.错误
[单选题]用于切换选择排气管路的阀门是( ) (1 分)
A.电磁阀
B.半开阀
C.三通阀
D.闸板阀
[判断题]压缩机包括压缩机、电动机、进气系统、排气系统、冷却润滑系统、气量调节系统组成。（ ）
A.正确
B.错误
[判断题]离心式压缩机用于满足排气量小、排气压力高的需要。 ( )
A.正确
B.错误
[判断题]环境指标用于评价发动机排气品质和噪声水平。尾气排放指标主要包括一氧化碳( CO )、碳氢化合物(HC)、氮氧化合物(NOx)以及除水以外的任何液体和固体颗粒物(PM)等。()
A.正确
B.错误
[判断题]交换设备是用于切换焦炉加热系统气流流动方向的动力设备和传动机构。
A.正确
B.错误
