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[单选题]下列不是影响QulEE检测效率的选项是?( ) (1 分)
A.温度
B.湿度
C.使用时间
D.腔体上的安装位置
[单选题]Qulee分压中哪种气体分压偏高说明真空腔体中有漏水( )。 (1 分)
A.H2O
B.N2
C.H2
D.O2
[单选题]Qulee分压中哪种气体分压偏高说明真空腔体中有漏气可能( )。 (1 分)
A.H2O
B.N2
C.H2
D.O2
[单选题]Sputter设备中当Qulee检查到N2分压偏高时易引发的不良是( ) (1 分)
A.Hillock不良
B.ESD不良
C.Crack不良
D.Nodule不良
[单选题]关于QULEE的分类,CGM,BGM,HGM,RGM,下列错误的是( ) (1 分)
A.CGMPVD用
B.BGM蒸发设备用
C.HGMPVD用
D.RGMCVD及蚀刻
[单选题]Qulee使用温度为( ) (1 分)
A.10度~20度
B.10度~30度
C.10度~40度
D.10度~50度
[单选题]以下非Qulee用途的是? (1 分)
A.溅射残留气体分析
B.各种真空设备的检漏
C.电离真空计功能
D.皮拉尼真空计功能
[单选题]QULEE的使用电压是( ) (1 分)
A.DC12V
B.DC24V
C.AC100V
D.AC100~240V
[单选题]Qulee检查到只有H2O分压偏高有可能的原因( ) (1 分)
A.真空腔室间内漏
B.真空腔外漏
C.腔室内冷却水系统有漏
D.以上全部
[单选题]以下哪些属于qulee消耗品?( ) (1 分)
A.离子源
B.铜垫圈
C.分析管
D.以上说法都是正确的
[单选题]下列属于QULEE消耗品的是( ) (1 分)
A.分析管
B.SEM
C.离子源
D.以上全部
[单选题]Qulee使用说法,不正确的为( ) (1 分)
A.在高真空下使用
B.在低真空下使用
C.既可单独也可连接设备使用
D.不可用于检漏
[单选题]Qulee最大使用时间,最大信赖性?( ) (1 分)
A.80000小时25℃
B.80000小时30℃
C.70000小时25℃
D.70000小时30℃
[单选题]QULEE分析管Baking时压力必须保持为( ) (1 分)
A.1e-5Pa以下
B.1e-4Pa以下
C.1e-3Pa以下
D.1e-2Pa以下
[单选题]标准型QULEE系统组成部分不包括哪一个( ) (1 分)
A.气体分析仪
B.监视系统
C.电源系统
D.PC
[单选题]所有类型qulee的入力电源电压是?( ) (1 分)
A.DC24V±10%
B.DC36V±10%
C.AC100V±10%
D.AC220V±10%
[单选题]Qulee设定检测的四种气体分别是?( ) (1 分)
A.H₂O,N₂+CO,O₂.,Ar
B.N₂+CO.HE,.H₂.,Ar
C.O₂.,N₂+CO,.H₂.,Ar
D.Ar,N₂+CO.HE,.H₂
[单选题]QULEE分析管Baking的时候保证压力在多少以下( ) (1 分)
A.1e-2Pa
B.1e-3Pa
C.1e-4Pa
D.1e-5Pa
[单选题]使用Qulee检测腔体是否有漏使用的气体是?( ) (1 分)
A.Ar
B.N₂
C.He
D.H2
