[简答题]什么是干法刻蚀？什么是湿法刻蚀？比较二者的优缺点。

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A. 4HF+Si=SiF₄+2H₂↑
B. CF₄+SiO₂——→SiF₄+CO₂↑
C. CF₄+SiO₂+O₂——→SiF₄+CO₂↑
D. SiO₂+4HF——→SiF₄+2H₂O

[单项选择]刻蚀工艺会影响光伏池片电学参数中的（）。
A. 开路电压
B. 并联电阻
C. 短路电流
D. 串联电阻

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[单项选择]不是常用去湿法的是（）去湿法
A. 机械
B. 吸附
C. 热能
D. 化学

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