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[单选题]根据各真空计的特点,适合于Sputter成膜时压力(0.3Pa~06Pa)测定的是哪种真空
计( )。 (1 分)
A.PIG真空计
B.薄膜真空计
C.IG真空计
D.广带域真空计
[单选题]关于SPUTTER成膜特征说法不正确的是( )。 (1 分)
A.膜的附着强度高
B.膜厚分布调整方便
C.合金膜制御容易
D.靶材交换程度高不适合量产
[单选题]关于SPUTTER成膜的靶材安装方向说法正确的是( )。 (1 分)
A.朝上安装
B.朝下安装
C.垂直安装
D.以上三种都可以
[单选题]下列真空计中适合在Sputter放电中使用的真空计( )。 (1 分)
A.皮拉你真空计
B.电离真空计
C.薄膜真空计
D.复合型真空计
[单选题]多少真空度以下真空中,材料加热蒸发,基板上堆积成膜称为蒸着?( ) (1 分)
A.10-1pa
B.10-2pa
C.10-3pa
D10-4pa
[单选题]在成膜工程中加热的目的是( )。 (1 分)
A.让基板受热均匀
B.提高RS分布律
C.减少基板水分
D.出于基板膜厚的考虑
[单选题]下列成膜方法中,对极限真空度要求最高的是( )。 (1 分)
A.银镜反应;
B.PECVD;
C.溅射镀膜;
D.蒸发镀膜;
[多选题]真空处理的目的是（）
A.脱碳
B.脱氧
C.脱氢
D.脱氮
[单选题] 配制主催化剂时抽真空的目的是( )。
A.除去潮气
B.除去轻质烃类
C.除去空气
D.除去氮气
[判断题] ( )溶剂回收系统进行真空试验的目的是检验该系统的密封性,同时检验真空泵的抽空能力。
A.正确
B.错误
[多选题]脱碳九塔系统真空试验的目的是
A.检查系统密封状况
B.检查喷射泵抽空能力
C.检查仪表状况
D.检查水冷器的状况
[多选题] 抽提装置真空试验的目的是( )。
A.检查系统密封状况
B. 检查真空泵抽空能力
C. 检查仪表状况
D. 检查空冷器的状况
[判断题]蒸发操作中使用真空泵的目的是抽出由溶液带入的不凝性气体,以维持蒸发器内的真空度。( )
A.正确
B.错误
[判断题]排烟降毒作业时排烟路径或排烟口不得危及作战阵地，参战人员不得随意穿越或靠近，必要时设置水枪进行保护。( )
A.正确
B.错误
