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A. 蒸发速率稳定情况
B. APC充氧情况
C. 电子枪光斑位置及大小情况
D. 光控曲线的走向及形状.
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[多项选择]在镀膜过程中,石英晶振可以显示以下哪些数值?()
A. 蒸发速率
B. 蒸发温度
C. 真空度
D. 膜层厚度
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